真空係統真空熱處理爐。真空係統 的三個（gè）基本要求  ：

1）真空度要求真空熱處理爐能快速抽真空。

2) 可排出爐內被加工工件和釋（shì）放的（de）各種（zhǒng）氣體（tǐ），以及因真空泄漏而滲入爐體內的氣體。 

3）真空單元麵積小，安全可靠，操作方便。 真空係統的組成 真空熱處理爐的真空係統通常是由（yóu）一個真空裝（zhuāng）置（真空泵）、控製和測量真空元件的真空元件（jiàn）組成。   

1）真空泵機組。根據爐膛的工作壓力和吸氣量（liàng）大小，分別（bié）選配不同的低真空泵、真空泵、高真空和（hé）超高真（zhēn）空泵。

2) 真（zhēn）空元件或元件。真空爐與真空泵之間裝有各種真空元件或真字（zì）元件，如（rú）管道（dào）、密封件、法蘭、波紋管、冷阱、過濾（lǜ）器和閥門等。

3）真空爐 測量係統，如真空計（jì）、真空計（jì）等真空測量儀（yí）器。

4）真空檢漏儀、真空控製設備、充氣裝置（zhì）。

真空爐（lú）品種、真空（kōng）係統（tǒng）要求也不一樣。在真空度上，有低真空、真空和高真空係統。以下（xià）是一些常見的真空係統。

1、低真空係統

低真（zhēn）空係（xì）統適用於真空度在2～1333Pa範圍內的真空熱處理（lǐ）爐，如（rú）預抽真（zhēn）空的低坑爐。大多數油封旋轉機（jī）械泵以主泵為主。

2.真空係統

真空係統適（shì）應真空度在3×10～1.333Pa真空熱處理（lǐ）爐範圍內。真空熱處理爐中應用最廣泛的真空係統，通常由兩個真空（kōng）泵機組組成（chéng）。主泵多采用旋轉滑閥或機械泵機械泵，主泵機械增壓泵（羅（luó）茨泵）或油增壓器

3.高真空係統

高真空係統適用的真空度在6.6×10～1.333×10。帕係列（liè）真（zhēn）空熱處理爐、真空退火爐、真空釺焊爐，通常由三個真空泵機組組成，通常主泵油擴（kuò）散泵、離子泵，主泵多（duō）為機械泵或旋轉滑閥機械泵 。